P03500 - SEMI P35 - マイクロリソグラフィメトロロジの用語法 StdPbc-0422 本文件適用於半導體製造設備的安裝、保養、維修人員以及提供半導體設備支援之其他人員的EHS訓練。

Name: P03500 - SEMI P35 - マイクロリソグラフィメトロロジの用語法 StdPbc-0422 本文件適用於半導體製造設備的安裝、保養、維修人員以及提供半導體設備支援之其他人員的EHS訓練。
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Description

本文件適用於半導體製造設備的安裝、保養、維修人員以及提供半導體設備支援之其他人員的EHS訓練。

This Test Method deals with junction-to-case measurements of thermal resistance in air environment

without dependence on operator or host input

or of an array of TSVs

P03500 - SEMI P35 - マイクロリソグラフィメトロロジの用語法 StdPbc-0422 本文件適用於半導體製造設備的安裝、保養、維修人員以及提供半導體設備支援之其他人員的EHS訓練。global Micropatterning Committeeglobal Audits and Reviews Subcommittee2006824200610www. semi. org 200611CD ROM2000220047 Referenced SEMI Standards SEMI E89 Guide for Measurement System Analysis (MSA) SEMI P28 Specification for Overlay Metrology Test Patterns for Integrated Circuit Manufacture

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